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（1）裂纹。
当光束照射被检测物体表面时，可以观察到线条呈黑色或亮色，如果放大到一定倍数，观察到线条边缘有不规则情况，就判断为裂纹。如果裂纹较宽，那么测量探头的测量影响线会出现弯曲。
（2）剥皮。
当平行照射光束时，在凸起部分后面观察到阴影。当光束的照射角度改变时，观察到表面凸起部分与周围被检测物体之间有明显的边界，判断为剥离。
（3）拉线。
在光束照射下，观察到表面有规则连续的长线，判断为拉线。
（4）凹坑凸起。
当光束以一定角度照射时，与周围被测物体的边界相连，没有分界线。会有阴影出现在光源附近，在远离光源时会有明亮的阴影，这些都是凹坑。如果光束以一定角度照射，与周围被测物体的边界相连，没有分界线。凸起部分就会有一个明亮的阴影，阴影的后面是一个坑。如果凹坑较深或凸起较高的情况下，可测量探头的测量线就会出现弯曲。
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